Waferinspektion
Kamerasysteme zur Kontrolle von Mikrochipkomponenten
Mit Hilfe hochwertiger Kamerasysteme ist es möglich, die Oberflächen von Wafern zu inspizieren und kleinste Abweichungen von der optimalen Oberfläche zu detektieren. Wafer sind quadratische oder kreisrunde, dünne Scheiben, die als Grundplatte für das Aufbringen elektronischer Bauelemente dienen. Wafer finden Einsatzgebiete in verschiedenen Bereichen, z.B. in der Photovoltaik, der Mikromechanik und der Halbleiterindustrie. Die Anforderungen an Waferinspektionenen sind sehr hoch, da äußerst detailreiche Messungen von Wafer-Mikrostrukturen bis in den Nanometerbereich generiert werden müssen. Zudem ist eine sehr präzise Steuerung der UV-Strahlung und die damit verbundene korrekte Auswahl der Wellenlänge von äußerster Wichtigkeit, um ideale Messergebnisse zu realisieren.
Hohe Anforderungen an Herstellung und Resultate
Dem technischen Fortschritt und der intensiven Forschungsarbeit geschuldet, wachsen die verbauten elektronischen Bauelemente auf Wafern bzw. den daraus resultierenden Erzeugnissen (z.B. Mikrochips), stetig an. Die damit einhergehende steigende Komplexität und zunehmende Dichte der Strukturen erschwert das Auflösungsvermögen. Modernste Kamerasysteme, die zur Qualitätskontrolle von Wafern herangezogen werden, müssen diesen hohen Anforderungen von Jahr zu Jahr gerecht werden. Nur so können bei der Kontrolle des Wafer-Materials bzw. bei dessen Oberfläche Unebenheiten, (Mikro)Risse, Buckel oder Beschichtungsfehler zuverlässig erkannt und auf einem Bildschirm abgebildet werden.
(Freiform)Systeme für leistungsstarke Kameras
Qualitativ hochwertige optische Komponenten bilden die Basis für leistungsstarke Kamerasysteme. Beste Abbildungsergebnisse sind z.B. durch Freiformflächensysteme oder asphärische Linsen realisierbar. Gestochen scharfe Details, die Kompensation der sphärischen Aberration und präziseste Messungen können mit Asphären oder Freiformen von asphericon ermöglicht werden. Ihren Anforderungen entsprechend, ist auch die Fertigung individueller UV-VIS-Objektive für eine effektive Qualitätssicherung Ihrer Waferinspektionsanlagen ganz einfach möglich. Eine sichere Prozessüberwachung kann somit auch bei zeitgleich hoher Wafer-Durchlaufrate garantiert werden. Thermische, sowie mechanische Prüfverfahren unserer hauseigenen Umwelttests bestätigen im vollen Umfang die hohe Güte und beste Qualität unserer Produkte.
Optische Komponenten und Systeme von asphericon garantieren höchste Abbildungsgüte und ergänzen Ihre optischen Systeme zur vollsten Zufriedenheit. Fehlerhafte Erzeugnisse können zuverlässig erkannt und aussortiert werden, für einen reibungslosen Prüfprozess.
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