斐索干涉测量法的非球面化
参考项目
非球面菲索透镜的研制
传统的斐索透镜通常基于球面光学，其测量范围受到输入光束直径的限制。需要额外的适配器或扩束器来扩大测量范围，并且有些直径太小而无法测量。然而，艾斯飞睿公司代表一家领先的测量设备制造商开发了一种非球面菲索透镜，该透镜可以在没有任何额外组件的情况下产生大直径。
项目细节
干涉仪球面透镜的测量范围通常受到其小输入光束直径的限制。放大需要额外的适配器或光束扩展器。球面菲索透镜通常根本无法测量小直径。因此，艾斯飞睿受一家领先的国际测量设备制造商的委托，开发和生产一种测量范围更大且易于使用的非球面菲索透镜。与传统的菲索透镜相比，它的测量范围明显更大，最高可达R/D 0.55。作为一个单独的组件使用，不需要额外的适配器，4英寸Fizeau透镜覆盖了以前只能用6英寸透镜测量的测量范围。这对于小的焦距比是特别有利的。
项目实现
高端非球面镜的使用与创新的底座设计相结合，使斐索表面的直径得以充分利用。 非球面菲索透射透镜将准直光束转换为球面波阵面。透镜的最后一个表面——斐索表面——将参考波前和测量波前分开。理想情况下，球面透镜的输入孔径为4英寸。相比之下，非球面透镜本质上会膨胀，从而产生更大的直径。
镜片的设计经过优化，可用于长期清洁部件，具有方便的抓握边缘和安全运输的收起系统。4“Zygo卡口连接器的使用也使其适用于其他干涉仪。asphricon的斐索透镜的其他引人注目的特点包括其相对较低的重量（由于组件数量的减少）、高质量的透射波前以及λ/10和λ/2的斐索表面质量。
球面与非球面设计比较
图1：菲索透镜的典型设计，包括在具有相同焦比（R/D 0.55）的球面（=灰色）和非球面（=蓝色）设计中菲索表面位置的比较。
附加测量范围
图2：球面和非球面4“透镜的测量范围比较。两者的孔径角α相同（即非球面透镜具有更大的范围，可用于测量具有相同孔径数的测试对象）。该公式给出了R/D比与角度α之间的关系。
菲索镜头光学系统一览：
- 创新的透镜设计，具有非球面表面、减少的透镜数量和真正的4〃系统输入孔径
- 固有扩展使输出孔径更大
- 选定的斐索半径间距可实现较大的测量范围
