Optické tenké vrstvy
Vysoce výkonné optické tenké vrstvy
Výroba tenkých vrstev v rozsahu UV spektra až po blízkou infračervenou oblast pro náročné produkty s rozumnými dodacími lhůtami a spolehlivým servisem - to jsou optické tenké vrstvy made by asphericon. Vybaveni nejmodernějšími výrobními a měřicími technologiemi dostupnými na trhu, jakož i zkušeným týmem techniků, proměňujeme vaše představy v realitu. Vedle nanášení tenkých vrstev na optická skla můžeme nanášet různé materiály a tloušťky vrstev na mnoho dalších materiálů.
Vrstvy redukující reflexi, také označované jako antireflexní, jsou nezbytné pro maximální prostup optiky v mnoha oblastech aplikace. Dle požadované aplikace nabízíme jednoduché vrstvy až po širokopásmové tenké vrstvy nebo také antireflexní optické tenké vrstvy speciálně pro laserové aplikace. Přitom je možné dosahovat v závislosti na použitém skle zbytkové reflexe < 0,1 %.
Vícenásobná vrstva (ARDD)
S dielektrickými vrstvami se dají vyrábět pro různé rozsahy vlnových délek zrcadla s reflexními hodnotami vyššími než 99 % bez absorpce, s minimalizovaným namáháním a optimalizovaná pro různé úhly dopadu.
Zrcadlové vrstvy jsou realizovatelné pro jednotlivé vlnové délky (Single High Reflection, SHR) ale také pro dvě vlnové délky (Double High Reflection, DHR) až po širokopásmový rozsah (Broadband High Reflection, BBHR). Jedná se o tenké vrstvy High-Power optimalizované pro výkonné laserové aplikace.
Single High Reflection (SHR)/Broadband High Reflection (BBHR)
Povrchy zrcadel na bázi kovů (např. Al, Ag nebo Au) jsou nákladově optimalizované varianty k výrobě reflektorů. Metalická zrcadla vykazují ve velmi širokém pásmu vlnových délek konstantní stupeň reflexe. Z důvodu malé pevnosti kovových vrstev jsou tyto vrstvy chráněny vrstvami dielektrickými a jejich reflexe je na přání zvyšována.
Pro mnoho aplikací má veliký význam separace různých vlnových délek vrstvami filtrů. Umožňují to takzvané krátkovlnné nebo dlouhovlnné filtry na bázi dielektrických vrstev. Zatímco krátkovlnné filtry propouští krátké vlnové délky, jsou dlouhé vlnové délky odráženy. Naproti tomu propouští dlouhovlnné filtry dlouhé vlnové délky a odráží krátké.
Krátkovlnné filtry (KPF)
Dlouhovlnné filtry (LPF)
Tenké vrstvy pro děliče světelných svazků dělí vstupní světlo na prostupující a odrážený podíl světla. Na základě termicky velmi stabilních dielektrických vrstev realizujeme požadované poměry dělení specificky dle přání zákazníka, typicky 50 % / 50 % (R/T) nebo také 30 % / 70 % (R/T).
Dělič světelných svazků (BS)
Optické tenké vrstvy pro UV, VIS a IR
- UV TENKÉ VRSTVY
- VIS TENKÉ VRSTVY
- INFRAČERVENÉ TENKÉ VRSTVY
UV TENKÉ VRSTVY
Optika pro vysoce výkonné (laserové) aplikace
Ultrafialová optika a tenké vrstvy již neodmyslitelně patří k nejrůznějším oblastem. Použití najdou například ve výrobě polovodičů a displejů, v satelitech nebo opracování materiálů laserem. Vysoce energetické UV svazky otevírají v rámci technologie, výroby a výzkumu vždy nové oblasti použití. UV odolné tenké vrstvy umožňují např. nasazení optických komponentů v oblasti vysokých výkonů, nebo je chrání před silnými vlivy prostředí.
U asphericon získáte:
- Individuální vysoce kvalitní UV tenké vrstvy pro vaší optiku,
- systémy jako tvarovače svazků pro UV spektrum, jakož i
- UV optiku pro vysoce výkonné aplikace s nejnižšími hodnotami drsnosti skladem.
VIS TENKÉ VRSTVY
Optické tenké vrstvy pro aplikace s viditelným světlem
VIS, zkratka pro „visible spectrum“, zahrnuje všechny optické aplikace, které může lidské oko bez pomocných prostředků vnímat. Aplikace tohoto rozmanitého spektra, které sahá od 380 nm do 750 nm, je možné nalézt např. v každodenním životě, průmyslu a v rámci optických analýz. K tomu patří laserová ukazovátka a projektory, ale také spektrometry v oblasti kosmického průmyslu a mikroskopie.
U asphericon dostanete:
- vysoce kvalitní VIS tenké vrstvy pro vaší optiku (např. AR tenké vrstvy, V-Coatings a tenké vrstvy filtrů)
- individuální optické systémy pro oblast VIS, ale také
- optiku s velmi dobrými přesnostmi povrchu skladem
INFRAČERVENÉ TENKÉ VRSTVY
Dál než oko: infračervené tenké vrstvy pro aplikace do 5,1 μm
Infračervené tenké vrstvy zvyšují funkčnost optických prvků a zušlechťují klasické IR materiály jako germanium a křemík. Asphericon realizuje široké spektrum robustních IR vrstev s dlouhou životností v rozsahu vlnových délek do 5,1 µm, které bez problému odolávají i náročným vlivům prostředí.
Jako IR tenkou vrstvu obdržíte u asphericon:
- filtry s pásmovou propustností a úzkopásmové filtry
- pásmové filtry dual a triple
- hranové filtry (dlouhovlnné a krátkovlnné)
- multifunkční filtry
- antireflexní tenké vrstvy
- reflexní tenké vrstvy
Specifikace optických tenkých vrstev
| Odpařování elektronových svazků | Depozice na bázi iontových svazků | Magnetronové naprašování Sputtering | |
|---|---|---|---|
| Velikost substrátu (průměr) | až 300 mm | až 300 mm | 15 mm - 250 mm |
| Spektrální rozsah | 190 - 5100 nm | 190 - 5100 nm | 380 - 5100 nm |
| Stabilita | dobrá | velmi dobrá | ultra-tvrdá |
| Zbytková reflexe | Rabs < 0.1% (V-Coating) | Rabs < 0.1% (V-Coating) | Rabs < 0.1% (V-Coating) |
| Zvláštnosti | - | Využití plazmového zdroje | „Sputter-up“ technologie |
| Oblasti použití | AR | ARBB, HR | ARSBB, HR, Filter |
| Fast-Lane servis (24/48h) | volitelná opce | volitelná opce | volitelná opce |
Optické technologie nanášení tenkých vrstev
V souladu s individuálními vlastnostmi výchozího materiálu a s požadavky na optické systémy zvolíme vhodnou technologii nanášení tenkých vrstev pro váš projekt. Přitom je možné použít odpařování elektronových svazků, depozici na bázi iontových svazků nebo naprašování.
- Electron Beam Evaporation
- Ion Assisted Deposition
- Magnetron Sputtering
- Magnetron Sputtering
ODPAŘOVÁNÍ ELEKTRONOVÝCH SVAZKŮ
Při odpařování elektronových svazků (Electron Beam Evaporation, krátce EBE) se na optické komponenty ve vakuové komoře nanáší tenká vrstva odparem materiálu, který se nachází na dně komory. Energie nezbytná k odpařování je generována svazkem elektronů. Částice páry zahřátého materiálu se ve vakuu šíří téměř lineárně. Rovnoměrně se rozkládají na povrchu optického substrátu uchyceného nad nimi, který se nachází na rotující katodě.
- Optické tenké vrstvy: dielektrická zrcadla, antireflexní a kovové vrstvy
- Velikosti substrátu: až do průměru 300 mm
- Rozsah spektra: 190 - 5100 nm
- Tenká vrstva Fast-Lane (dodávka 24/48h)
ODPAŘOVÁNÍ ELEKTRONOVÝCH SVAZKŮ
Schematický proces
DEPOZICE NA BÁZI IONTOVÝCH SVAZKŮ
Depozice/odlučování na bázi iontových svazků (Ion Assisted Deposition, krátce IAD) je založená na technologii odpařování elektronových svazků a je u společnosti asphericon používána pro většinu optických tenkých vrstev. Doplňkově k tomu se u této technologie používá zdroj plazmy, aby byla vzniklá vrstva ostřelovaná ionty přídavně zhutněna. Výsledkem jsou ještě tvrdší a stabilnější vrstvy.
- Optické tenké vrstvy: dielektrická zrcadla, antireflexní vrstvy
- Velikosti substrátu: do průměru až 300 mm
- Rozsah spektra: 190 - 5100 nm
- Velmi vysoká tvrdost vrstvy a stabilita
- Dobrá termická vodivost
- Fast-Lane tenká vrstva (dodávka 24/48h)
DEPOZICE NA BÁZI IONTOVÝCH SVAZKŮ
Schematický proces
MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ „SPUTTERING“
U technologie Magnetron Sputtering (angl. rozprašování) jsou ve vakuu z AR plazmy vyvíjeny vysoce energetické ionty, které cíleně naráží proti cíli z pevného tělesa (target). To se daří díky vytvoření elektrického pole. Důsledkem toho se ionty a atomy vytlučou z pevného tělesa (target) a elektrickým polem urychlí směrem k substrátu. Atomy a ionty cíle se ukládají na substrát uchycený (u asphericon) nahoře („Sputter-up“) a vytváří tak vysoce kvalitní a rovnoměrnou optickou tenkou vrstvu. Nárůst vrstvy je možné spektroskopicky monitorovat a zajišťovat tak vysokou stabilitu procesu a reprodukovatelnost.
- Optická tenká vrstva: dielektrická zrcadla, antireflexní tenké vrstvy
- Velikosti substrátu: 15 mm - 250 mm
- Materiály: sklo, křemen, krystaly
- Rozsah spektra: UV – NIR (380 - 5100 nm)
- Velmi husté a rovnoměrné tenké vrstvy
- Velké naprašované prvky, oddělená možnost zakládání do zásobníku
MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ „SPUTTERING“
Schematický proces
Hledáte optickou tenkou vrstvu na míru vašim potřebám?
asphericon GmbH
Stockholmer Str. 9
07747 Jena
phone +49 (0) 3641 3100 500
fax +49 (0) 3641 3100 501
sales[at]asphericon.com
Kontakty
Služby
Produkty
