Kontrola waferů
Kamerové systémy pro ovládání mikročipových komponent
Pomocí kvalitních kamerových systémů je možné kontrolovat povrchy waferů a detekovat nejmenší odchylky od optimálního povrchu. Wafery jsou čtvercové nebo kruhové tenké disky, které slouží jako základní deska pro ukládání elektronických součástek. Oplatky se používají v různých oblastech, kupř. ve fotovoltaice, mikromechanice a polovodičovém průmyslu. Požadavky na kontroly waferů jsou velmi vysoké, protože je třeba generovat extrémně detailní měření mikrostruktur plátků až do rozsahu nanometrů. Pro dosažení ideálních výsledků měření je navíc mimořádně důležitá velmi přesná kontrola UV záření a s tím související správná volba vlnové délky.
Vysoké nároky na výrobu a výsledky
Díky technickému pokroku a intenzivní výzkumné práci neustále rostou elektronické součástky instalované na waferech a výsledné produkty (např. mikročipy). Rostoucí složitost a hustota struktur s tím spojená ztěžuje rozlišení. Nejmodernější kamerové systémy, které se používají pro kontrolu kvality waferů, musí tyto vysoké požadavky rok od roku splňovat. Jen tak lze při kontrole materiálu plátku nebo jeho povrchu spolehlivě detekovat nerovnosti, (mikro)trhliny, hrbolky nebo vady povlaku a zobrazit je na obrazovce.
(Free form) systémy pro vysoce výkonné kamery
Vysoce kvalitní optické komponenty tvoří základ pro vysoce výkonné kamerové systémy. Nejlepších zobrazovacích výsledků lze dosáhnout například se systémy s free form komponenty nebo asférickými čočkami. Podle vašich požadavků je možná výroba jednotlivých UV-VIS čoček pro efektivní zajištění kvality vašich systémů kontroly waferů. Spolehlivé monitorování procesu tak může být zaručeno i při současně vysokých výkonech waferů. Tepelné i mechanické zkušební postupy našich interních environmentálních testů plně potvrzují vysokou kvalitu našich výrobků.
Optické prvky a systémy od společnosti asphericon zaručují nejvyšší kvalitu zobrazení a doplňují vaše optické systémy k vaší naprosté spokojenosti. Vadné výrobky lze spolehlivě detekovat a vytřídit pro hladký průběh kontroly.