×
Služby
Produkty Služby Aplikace

Optická litografie

Optické vrstvy pro komplexní informační struktury na waferech


Optická litografie je klíčovou technologií v technologii polovodičů a mikrosystémů. Ať už jde o mobilní telefon, počítač nebo auto, funkčnost našich každodenních technických společníků je založena na technologii litografie. Aplikace komplexních mikro- a nanostruktur na waferech tvoří základ pro základní součást všech technických zařízení, kterou je mikročip.

Proces strukturování waferů

Litografie popisuje proces strukturování waferů. V případě výroby mikročipů jsou wafery čisté křemíkové destičky, na které je nejprve nanesen film citlivý na záření, obvykle speciální fotorezistorová vrstva. Obraz fotomasky se pomocí záření přenese na citlivý fotorezistor. V závislosti na procesu se rozliší exponované nebo neexponované oblasti, což vede k litografické masce. Výsledné struktury a další fyzikální a chemické kroky zpracování, např. speciální leptací procesy mohou vytvořit složité obvody.

Faktory pro vysoce kvalitní litografické procesy

Úspěch litografického procesu závisí na několika faktorech. Na jedné straně je možné zlepšit optické vlastnosti plátku před aplikací citlivé fotoresitivní vrstvy. Pro kompenzaci rušivých odrazů lze použít antireflexní vrstvu. Na druhou stranu úspěch celého procesu závisí na výkonných optických komponentech, které umožňují litografii. Patří mezi ně vysoce kvalitní systémy z čoček a zrcadel.

Litografie nové generace

Generování ještě menších struktur na mikročipech vyžaduje stále kratší vlnové délky. EUV litografie (= extrémní ultrafialová litografie) je proto považována za nadějného nástupce optické litografie. S vlnovou délkou expozice 13,5 nm se místo dosavadních 193 nm budou v budoucnu vyrábět ještě menší a výkonnější mikročipy. K realizaci jsou mimo jiné potřeba extrémně přesná zrcadla, která mají usměrňovat dráhu paprsku ve vysokém vakuu. Jednou z největších současných výzev pro průmyslové aplikace EUV litografie je využitelný výkon vysoce výkonného EUV zdroje, protože extrémně krátkou vlnovou délku 13,5 nm nelze emitovat laserem. Stále je potřeba dalšího výzkumu; klasická optická litografie zůstává hlavním aplikačním procesem v průmyslové výrobě mikročipů.


Díky optimalizovaným výrobním technologiím vás asphericon podporuje produkty a službami nejvyšší kvality. Čočky s nízkou drsností povrchu jsou jednou z našich specialit – pro minimální rozptyl a dokonalý obraz. Optické vrstvy přesvědčí vysokou účinností a dlouhou životností. Lze také vyrobit speciální zrcadla s vynikajícími výsledky odrazu, aby vaše litografická optika poskytovala ty nejlepší výsledky.

Neváhejte nás kontaktovat!

Vybrané produkty a služby




Váš požadavek

* Povinná pole

Obraťte se na náš tým
Obraťte se na náš tým
Sales Team
Vždy nejnovější zprávy z asphericonu