Výroba mikročipů
Nanášení tenkých vrstev na vysoce kvalitní wafery jako základ integrovaných obvodů
Mikročipy tvoří miniaturizované části jádra složitých elektronických obvodů v různých elektronických zařízeních. Jsou například v počítačích nebo chytrých telefonech a tvoří tak základ naší moderní digitalizace. Ať už jako řídicí a výpočetní jednotky nebo komplexní paměťové prvky, mikročipy jsou široce používány v široké škále aplikací, např. v technice řízení a měření procesů nebo lékařské technice.
Procesní kroky při výrobě waferů
Takzvané wafery tvoří základ pro výrobu mikročipů. V závislosti na oblasti použití jsou wafery čtvercové nebo kruhové tenké disky, které se získávají z monokrystalického nebo polykrystalického polotovaru. Pro elektronické součástky tak tvoří wafery základní desku pro další pracovní kroky. Etablují se v různých oborech, jako je technologie mikrosystémů, mikroelektronika nebo fotovoltaika.
Pro další zpracování nebo aplikaci waferů jsou však nutné různé dokončovací kroky. Pro optimální povrch to zahrnuje například leštění nebo tenké vrstvy. Pomocí různých izolačních nebo vodivých vrstev na waferech je možné v oblasti výroby mikročipů například vyrábět tranzistory a vzájemně je spojovat. V závislosti na velikosti waferu nebo hotového produktu lze ze zesíťovaných tranzistorů generovat mnoho mikročipů. Požadavky kladené na wafery se zvyšují: ultratenké, bezchybné a extrémně stabilní musí být dokonalé wafery pro generování ještě menších a výkonnějších mikročipů. Nerovnosti musí být korigovány až do rozsahu nanometrů a povrchy musí být dokonale zušlechtěny.
Zušlechťování pomocí vysoce kvalitních vrstev
asphericon se specializuje na dokončovací úpravy plošných waferů. Ať už jde o optické vrstvy, jako jsou antireflexní vrstvy. Optiku waferů lze snadno utěsnit a optimalizovat v nejlepší kvalitě. Kovové nebo dielektrické reflektivní vrstvy také zvyšují účinnost waferů, aby fungovaly jako tepelná ochrana nebo odrážely speciální světelné efekty, jako je laserové světlo. Environmentální testy, jako jsou testy teplotní odolnosti, lze provádět interně a zajistit dokonalou kvalitu vrstev.