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紫外镀膜

用于高功率(激光)应用的光学元件

紫外线光学元件和镀膜为您的应用提供了最大的能量

用于紫外线波长的光学系统通常具有光学镀膜。可以区分三种基本功能:

  • 反射,
  • 防反射镀膜和
  • 波长过滤。

此外,镀膜保护光学系统的表面,并确保即使在恶劣的环境条件下也能保持其光学质量。

光学紫外线辐射的特殊特性

根据应用领域的不同,紫外线波长的光学镀膜可用于执行各种任务。 例如,在材料加工中,降低了激光损伤阈值和部件上的一般应力紫外线激光器能量很高,通常会发出短而强烈的脉冲。由于波长较低,即使是很小的杂质或缺乏精密制造,在使用紫外线光学器件时也是一个挑战。因此,具有最小公差的均匀光学镀膜对于高质量的产品至关重要。

波长或脉冲持续时间越短,激光器的能量就越高。这导致基于ISO 21254的光学元件的损伤阈值,也称为激光损伤阈值(LDT)或激光诱导损伤阈值(LIDT)更加相关。LDT或LIDT描述了光学器件上的最大功率,在该功率下,统计推断不会出现损伤。然而,在积极使用中,即使没有超过这一限制,也不能排除损坏的可能性。特别是在紫外线范围内,在出现完全缺陷之前,可能会出现严重磨损。这是医疗领域的一项重大额外支出。现代镀膜工艺和均匀的表面最大限度地减少了光学系统的故障并延长了维护周期。

紫外线光学的波长和应用

紫外线辐射比人眼所能看到的波长380纳米的紫外线短。在100nm的步长中,在近紫外(NUV)、中紫外(MUV)、远紫外(FUV)和极紫外(EUV)光谱之间的递减长度上进行区分,直至10nm。确切的限制因文献而异。通常用于空间的另一种分类是UV-A/B/C,其中,例如,UV-C被定义为高达280nm,并被臭氧层完全吸收。UV-A在未经过滤的情况下有效地到达地球。

EUV激光器在现代半导体和显示器制造以及相关质量控制中至关重要,以生产更小、更强大、更高效的处理器。从占据仓库的计算机到现代智能手机的旅程只有通过组件的不断小型化才有可能实现。

与芯片制造工艺在技术上相似的是表面的标记。由于许多材料产生的热量较低,因此使用紫外线激光器进行精确钻孔,从而产生干净的线条。玻璃和塑料在加工方面面临着特殊的挑战——紫外线激光是一个很好的解决方案。具有可见光或红外光谱的激光不会切割这些材料或留下烧焦的切口。

卫星,无论是用于观测遥远的恒星、分析风速还是地球的气候变化,都需要高质量的镀膜来检测紫外线波长。它们必须可靠地分离紫外线光谱,尽管受到其他波长和极端环境条件的强烈干扰,才能进行有意义的测量。

紫外线激光是医疗不可或缺的一部分,尤其是对皮肤的治疗。为了确保安全使用,要特别注意皮肤的均匀照明。选择波长以匹配待治疗的组织,并且可以通过柔性光导在难以到达的区域使用。

来自艾斯飞睿的紫外镀膜

  • 波长范围:190 - 380 nm
  • 镀膜:例如K-镀膜(355 nm)、X-镀膜(230-380 nm)、Y-镀膜(320-450 nm)和特定波长的抗反射镀膜
  • 材料:玻璃、熔融二氧化硅、晶体
  • 基板尺寸:直径可达350 mm
  • 工艺:电子束蒸发(EBE)

图:266 nm处抗反射镀膜的测量镀膜曲线。
图:266 nm处抗反射镀膜的测量镀膜曲线。


来自艾斯飞睿的紫外光学和系统

紫外线范围的光学系统和元件对制造质量提出了最高要求。艾斯飞睿不仅提供世界上最大的熔融二氧化硅库存选择,还为您提供最高水平的激光束整形元件(BeamTuning范围)。

光纤准直器a|AspheriColl 355 nm可在紫外线范围内实现FC/PC光纤跳线的完美导光,并可与BeamTuning和跨系统组件一起使用,以满足任何需要的应用。由Suprasil制成的a|BeamExpanderUV可以使用Nd:YAG激光器[355nm]进行光束扩展。两个光束整形器a|TopShape和a|AiryShape可确保在所有激光应用中(甚至在紫外线光谱中)获得最大效果。基于非球面光学,模块化组件允许将高斯激光束简单地转换为不同的平顶光束。球面像差可以在所有BeamTuning系列产品的帮助下进行校正。无焦系统实现了大的输入光束直径,而非球面光学元件的使用与当前的商用产品相比,将系统尺寸减小了多达50%。智能安装理念消除了耗时的调整,确保了灵活性和精度。

还可以了解我们的a|FusedSilica 非球面镜。这些熔融石英光学元件针对广泛的(激光)应用进行了优化,如测试设备中的原型或光束聚焦/准直的标准组件,特别适用于高激光功率和紫外线范围内的应用。选定的直径也可作为安装的光学器件使用,并且可以很容易地与BeamTuning范围相结合。我们的跨系统适配器允许与常见的非系统组件一起使用。

有关各个镀膜具体信息的曲线可以在光学镀膜服务页面下载区域找到。



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