测量
精准-更精准-艾斯飞睿
专家提供的最准确的测量结果
最新的触觉和干涉测量仪器允许以最高技术水平灵活制造非球面光学元件。通过专门开发和集成的数据库系统，可以随时记录、准确评估和访问所有制造步骤的测量结果。为了获得准确的测量结果，使用了各种各样的测量仪器。我们经验丰富的团队期待您的项目！
艾斯飞睿的测量能力一览：
- 直径达260毫米的触觉测量
- 高达420毫米的全表面非接触式测量
- 非接触中心厚度测量
- 粗糙度测量Ra<0.5 nm RMS，测量场高达1 x 1 mm
- 自由曲面的测量：形状和位置公差、粗糙度
- 支架、已安装的光学器件和完整系统的测量/位置检查
- 共焦三维缺陷表征
我们的测量仪器
MarOpto TWI
- 生产环境中的快速干涉仪，用于表面形状和半径的测量，RMS再现性<1 nm
- 中高频误差和彗差的最准确记录
LuphoScan 260 和 420
- 基于光纤的多波长干涉测量法（MWLI®）
- 测量范围：420毫米（直径）×100毫米（高度）
- 纵向分辨率：0.1 nm
Zygo Verifire AsphereTM
- 基于激光的三维机械相移干涉术（6〃斐索干涉仪）与外差位移干涉术相结合
- 能力：测量非球面、球面和平面光学元件的表面形状偏差和曲率半径
- 不超过60 nm（λ/10）的非球面测量性能
MarSurf LD 120 MarWin
- 光学粗糙表面的二维测量
- 基于2 nm（0.08μin）分辨率和小于100 nm（4μin）的形状偏差，精确再现非球面
MarSurf LD 260 Aspheric
- 光学元件的高精度2D/3D测量
- 直接测量范围高达260毫米
- 最大直径达400 mm
- 分辨率：0.8 nm
MarForm MFU 200 Aspheric 3D
- 高精度2D/3D测量
- 测量范围广，直径可达260毫米
- 1 nm的垂直分辨率和<100 nm（<+/-50 nm）的形状偏差
- 定心精度在微米到亚微米范围内
Zygo NewViewTM 7100 and MarSurf WM 100
- 测量0.5 nm以下非球面的粗糙度
您的要求
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