晶圆检查
用于控制微芯片部件的摄像机系统
在高质量摄像系统的帮助下，质检人员可以检查晶圆的表面，并检测与最佳表面的最小偏差。晶圆是正方形或圆形的薄圆盘，用作沉积电子元件的基板。晶圆被用于各种领域，例如光伏、微机械和半导体工业。对晶圆检查的要求非常高，因为必须对低至纳米范围的晶圆微观结构进行极其详细的测量。此外，为了获得理想的测量结果，对紫外线辐射的非常精确的控制和相关的波长的正确选择是极其重要的。
对生产和结果的高要求
由于技术进步和密集的研究工作，安装在晶圆上的电子元件及其产品（如微芯片）不断增长，与此相关的结构的复杂性和密度的增加使得分辨率更加困难，用于晶圆质量控制的最先进的摄像系统必须满足这些高要求。只有这样，才能在晶片材料或其表面的检查过程中可靠地检测不均匀性、（微）裂纹、隆起或涂层缺陷，并将其显示在屏幕上。
用于高性能相机的（自由形式）系统
高质量的光学元件构成了高性能相机系统的基础。例如，使用自由曲面系统或非球面透镜可以实现最佳成像结果。使用非球面透镜或非球面的自由曲面可以实现锐利的细节、球面像差的补偿和精确的测量。根据您的要求，生产单独的UV-VIS透镜可以很容易地为您的晶圆检测系统提供有效的质量保证。因此，即使在同时具有高晶片吞吐率的情况下，也可以保证可靠的工艺监控。我们内部环境测试的热测试和机械测试程序充分证实了我们产品的高质量。
艾斯飞睿的光学元件和系统保证了最高的成像质量，可以补充您的光学系统，使您获得满意的效果。我们也可以可靠地检测和分类出缺陷产品，以确保检查过程的顺利进行。
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